氣密性影響試驗
按被試傳感器型式的不同,使用下列方法之一進行氣密性影響試驗:
a)絕壓和密封參考壓力傳感器
將被試傳感器置于真空箱內(nèi),接上測試記錄儀器。當(dāng)真空度達到規(guī)定值并保持恒定時,記下傳感器的零點輸出。在此狀態(tài)下,保持規(guī)定時間,再記下零點輸出,其零點輸出變化所引起的誤差應(yīng)符合傳感器詳細規(guī)范規(guī)定的要求。
b)單向和雙向差壓傳感器:
將傳感器的“高”、“低"壓兩端并接與標(biāo)準(zhǔn)氣壓表相連組合后再通過一個真空閥門與真空泵連接組成系統(tǒng),并將整個系統(tǒng)抽空到規(guī)定的壓力值,關(guān)閉真空閥門切斷真空源。在規(guī)定的時間內(nèi),觀察標(biāo)準(zhǔn)氣壓表壓力示值,其變化量應(yīng)不超過規(guī)定值(Pa),亦可將真空泵和真空閥換成一正壓力源,向傳感器“高”、“低”壓腔加壓至規(guī)定值,并將傳感器侵入液體介質(zhì)(如水)中,在規(guī)定的時間內(nèi)不應(yīng)有可見的氣泡逸出。
c) 真空氮質(zhì)譜檢漏:
將傳感器感壓腔室與氮質(zhì)譜檢漏儀檢測口相連,直接檢測傳感器感壓腔的泄漏率,其值應(yīng)符合傳感器詳細規(guī)范規(guī)定的要求